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ATLEX-S OEM用准分子ag游戏闲对|官方器
ATLEX-S Series
商品货号:ECS002868
商品品牌:ATL
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详细介绍

ATLEX-S

ATLEX-S系列ag游戏闲对|官方器是一款非常紧凑的紫外光源,设计用于低、中占空比的OEM应用。

主要特点

a 超紧凑的尺寸

a 超快电晕预电离技术

a HV-固态脉冲发生器

a ag游戏闲对|官方腔体<3L

a 全新技术的金属陶瓷腔

a 集成真空泵和卤素过滤器

a 全部风冷,温度控制

a 系统集成RS485RS232USBFOC接口

a 方便清洗的光学镜架

a 能量稳定模式

a 符合欧洲CE标准

a RoHS认证

应用

a 医学(屈光手术)

a 光谱学

a 微加工

a 试验和测量

技术规格

气体介质
ArF
KrF
波长
193
248
nm
高压开关技术
固态开关
最大重复频率
300
500
300
500
Hz
最大脉冲能量?1
10
10
15
15
mJ
最大平均功率
2,4
4
4
6
W
脉冲宽度?2
5 – 8
ns
光斑尺寸?2?(V?x?H)
4 x 6
mm
光束发散角?2?(V?x?H)
1 x 2
mrad
能量稳定性?(标准差)
< 3
%
尺寸 (L x W x H)?
630 x 400 x 300
mm
重量
60
kg
冷却方式
Air
?
电源要求
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
?

所有规格都是典型的数据,如产品有改进,恕不另行通知更改。

1 在最低重复频率情况下测得: 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。

2 典型值, FWHM

?

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